防止导通孔电性断裂的半导体封装构造的制作方法与工艺技术资料下载

技术编号:12827324

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本发明有关于具有导电贯孔的半导体封装领域,特别是有关于一种防止导通孔电性断裂的半导体封装构造,可应用于影像感测芯片、光电芯片、微机电芯片、集成电路芯片等芯片的封装技术,并可适用于芯片尺寸封装构造(ChipScalePackage,CSP)、扇出型晶圆级封装构造(Fan-OutWaferLevelPackage,FOWLP)、球格阵列封装构造(BGApackage)等封装型态。背景技术在先进半导体封装领域中,硅穿孔(TroughSiliconVia,TSV)、模封导通孔(TroughMoldedV...
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