技术编号:12829776
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微机电技术领域,更具体地,涉及一种电容式麦克风及其制作方法。背景技术一般电容式MEMS麦克风主要以硅或多晶硅为主要结构材料,以形成振膜或背极。在生产过程中,麦克风中会进入一些灰尘,影响产品质量。为了清除灰尘,通常采用吹气或喷气等方法。然而,硅的材料本身具有强度高、韧性小的特点。导致振膜易碎且毫无延展性。吹气或喷气时产生的的瞬间高压力,容易造成振膜的破损,导致麦克风的良率降低。因此,需要提供一种方案以提高电容式麦克风的抗吹气能力。发明内容本发明的一个目的是提供一种电容式麦克风的新技术方案...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。