技术编号:12838620
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及压电驱动器、微特电机及微型驱动器领域,特别是指一种采用多层环形压电陶瓷的微电机。背景技术微型电机一般是指尺寸(整体结构尺寸或者某一方向的尺寸)微小、定位精度(或者重复定位精度)高、能量消耗低、功率密度大的电机。目前,越来越多的研究以及工程应用领域对微型电机产生迫切的需求,而传统的绕线型电磁电机由于其复杂的结构而难以微型化。上世纪80年代后期,科研工作者利用硅的微加工技术,制造出了静电微电机,其直径可以到几百微米,引发了微电子机械系统(MEMS,MicroElectromechanica...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。