技术编号:12859675
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及真空腔体检漏技术领域,具体为一种真空镀膜腔体检漏系统。背景技术玻璃改性工艺用真空镀膜主要指一类需要在较高真空度下进行的玻璃镀膜。镀膜玻璃生产线真空装备是镀膜玻璃生产线中关键设备之一,镀膜段高本底真空和腔体的低漏率是生产优质镀膜玻璃的前提和保证。因此,所加工的真空镀膜腔体不仅要求快速的抽空,而且要求本底真空<8×10-6mbar,腔体漏率<1×10-7mbar.l/s,为保证本底真空及漏率,真空腔体必须采用气密性焊接方式,对焊缝质量要求极为严格,只有达到以上关键性工艺技术,才能最终保...
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