技术编号:12864951
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。带电粒子显微术中的三维成像本发明涉及一种使用带电粒子显微术研究样本的方法,其包括以下步骤:(a)在样本的表面上,选择在XY平面中延伸并且包括在所述表面的二维扫描期间要被带电粒子探测射束撞击到其上的网格节点的虚拟采样网格;(b)利用所述表面以下的相关联的标称Z穿透深度di来为所述探测射束选择着陆能量Ei;(c)在所述节点的每一个处,利用所述探测射束照射样本并且检测响应于其而从样本发出的输出辐射,由此生成扫描图像Ii;(d)针对与相关联的一系列不同穿透深度{di}对应的一系列不同着陆能量{Ei}重复...
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