技术编号:12866954
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及平面研磨加工领域,更具体的说,尤其涉及一种基于经纬线的研磨加工轨迹均匀性检测方法。背景技术平面研磨加工是获取光学元件、蓝宝石衬底、单晶硅衬底等高精度表面的重要手段之一,在电子、通信、计算机、激光、航空航天等技术领域有着广泛的应用。平面研磨加工须确保平面度、表面粗糙度、表层及亚表层位错形态和残余应力等,高精度平面研磨加工是超光滑抛光加工的必备基础。研磨加工轨迹均匀性检测方法是制约平面研磨加工精度的主要因素之一。而以往的研究主要针对如何提高研磨加工的均匀性这个问题,而有关检测研磨加工轨迹均...
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