技术编号：12876008
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于硬脆材料的切割设备，具体是一种金刚石线锯切割设备。背景技术单晶硅体是具有基本完整的点阵结构的晶体，不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料，在制造半导体器件、太阳能电池等领域被广泛应用。高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制成铸锭，再对铸锭开方、截断后形成各种规格的棒料。硅棒倒角是指把切割后的硅棒锐利边缘通过加工修整成弧角或斜角，其目的是消除边缘切割应力，防止边缘破裂及颗粒脱落。对单晶硅棒料的倒角方法如下：1、使用磨床倒角：采用金刚石砂轮，对单晶硅棒料长方体四平面的45°棱角用磨削方法加工...
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