技术编号:12883535
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种镀膜设备,尤指一种镀膜设备的自动取放机构。背景技术真空镀膜技术是利用物理或化学手段,于一抽真空的环境中,将固体表面涂覆一层特殊性能的镀膜,从而使固体表面具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、导电和绝缘等许多优于固体材料本身的优越性能,达到提高产品质量、延长产品寿命等作用,并已应用于航空、电子、机械、化工、军事等领域。如中国台湾公告第I503434号专利“溅镀镀膜装置”,为了让多个镀膜基板有较好的镀膜质量,该些镀膜基板之间为阵列排列且相隔一定的间隙,又如中国台湾公开第201418499...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。