技术编号:12883540
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及显示产品的制作领域,具体涉及一种押元结构和基板承载装置。背景技术在显示产品的制作过程中,通常采用采用磁控溅射的方式在基板上镀膜。在磁控溅射的过程中,基板固定在基板承载装置上,靶材与所述基板相对设置。其中,所述基板承载装置包括押元结构、托盘、支撑柱,支撑柱穿过托盘以支撑基板,押元结构环绕基板设置,以对基板进行夹持固定。押元结构对基板的施力直接影响着基板的平整度,从而影响了镀膜的均一性,影响产品品质。另外,对于尺寸较大的基板,溅射的靶材一般采用多条相对独立靶材拼接的方式设计,靶材之间存在间...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。