技术编号:12883544
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及薄膜电池的制备工艺技术,尤其涉及一种LPCVD工艺腔匀气装置。背景技术随着环境污染引起的温室效应问题日益严重,人们也越来越认识到环境保护的重要性,同时人们对能源的需求也在逐年递增,能源危机也在日益临近,使用清洁能源已被各国政府和组织提上了议事日程。现在各国都在大力发展清洁能源,光伏应用作为新能源应用的一个重要组成部分,正逐渐被人们所重视。目前光伏产业的发展,关键取决于降低太阳能电池生产成本的潜力。铜铟镓硒(CIGS)薄膜太阳电池具有生产成本低、污染小、不衰退、弱光性能好等特点,光电转换...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。