一种基于铁电薄膜正负弹热效应的固体制冷器的制作方法与工艺技术资料下载

技术编号:12885340

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本发明涉及电子元器件制冷领域,特别涉及一种基于铁电薄膜正负弹热效应的固体制冷器。背景技术目前,传统的气体压缩制冷技术效率低,而且使用氟利昂作为致冷剂对臭氧层产生破坏,随着精密电子元器件不断向高集成化、小型化和高频化方向发展,对电子芯片的散热要求越来越高。由于固体制冷器件能方便地集成到电子器件系统中,同时工作温度区间大,制冷效果好等优点,该技术成为电子芯片和电子器件最有效的制冷方式。铁电材料具有弹热效应,即在绝热条件下,对铁电材料施加应力可以改变其极化强度,从而引起其温度变化。研究发现,铁电材料具...
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