技术编号：12885680
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于精密测试计量技术领域，具体涉及一种扩束线偏振光光轴一致性、稳定性检测系统及方法。背景技术在精密测试计量技术领域，偏振光技术应用非常广泛，然而在应用过程中，对于经过扩束后线偏振光光轴的一致性、稳定性不明确，从而影响了最终的测量精度及其应用。目前，应用线偏振光技术进行精密测量时，是将线偏振光作为基准来检测目标相对于该基准的微小偏移量，或是根据偏振光经过目标后的状态变化对目标进行测量。所以，扩束后线偏振光的性能对于测量非常关键，其光轴的一致性、稳定性将直接影响到测量的精度。发明内容为了解决现...
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