技术编号：12886207
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种基于静电感应原理的非接触式MEMS自激励静电场探测系统及其探测方法，属于静电探测技术领域。背景技术非接触式静电探测装置是进行静电场或静电探测的基本器件，广泛应用于人体静电、物体表面静电荷空间静电场的探测中。目前旋叶式静电探测器未使用MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystem，微机电系统)工艺，需要旋转电机驱动探测器旋转，功耗和体积大，不适合未来微型化和低功耗的探测技术发展趋势。目前成熟的振动电容式静电传感器体积大，需要额外供电装置起振，虽部分采用了MEM...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。