技术编号:12886604
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于检测设备技术领域,尤其涉及一种显微镜实验室系统。背景技术作为与包含显微镜的测量器件有关的相关系统,提供了PTL1和PTL2中讨论的那些系统。在PTL1中,在执行用于可视地观察晶片表面的微伤(scratch)和变形(strain)的宏检查之后,执行微检查以便利用显微镜精密地检查进行特征的确认的位置。在用于执行这样的检查的结构中,能够使晶片旋转/倾斜的宏检查单元被设置在承载件和微检查单元之间。尽管常常使用分离的器件(即,宏检查器件和微检查器件)来检查晶片,但是用于执行这样的检查的这样的结构...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。