技术编号:12889310
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本公开属于脉冲功率技术、气体激光器、极紫外光刻电源等领域,特别涉及一种脉冲功率用磁延迟火花开关。背景技术高压脉冲放电开关是脉冲功率技术的关键器件之一,在高功率微波、气体激光器、极紫外光刻、粒子加速器等方面具有日益重要的作用。国内外针对高压脉冲放电开关开展了持久的研究,常见形式有高气压开关、磁开关、固态开关、伪火花开关等。但单一器件均存在固有缺陷难以克服。相比单一开关器件所遭遇的局限性,将磁开关与其他开关配合使用的磁延迟开关技术在重复频率脉冲功率系统中表现出巨大的发展潜力。磁延迟伪火花开关由磁开关...
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