技术编号：12892850
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种电容式MEMS传感器阵列，用于实现对待检组织的异常进行检测诊断和治疗，属医疗器械制作技术领域。背景技术人类对体表和可触及的组织进行检查的最常用方法是触诊。利用压力传感器阵列模拟排布于人类皮肤内的meisner触觉小体进行仿生触诊，即可实现对待检组织的异常进行甄别检测的过程。压力传感器的长期可靠性、温湿度稳定性、重复性、零点漂移等静态特性，传感器厚度及其力敏材料的力学性能，都是影响压力传感器性能的重要因素。要探测弹性压力分布就需要相同的单个压力传感器构成的阵列来完成，而每个压力传感器...
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