技术编号:1289686
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型提供了一种振动传感器,包括依次层叠设置的第一电极层,第一高分子聚合物绝缘层,和第二电极层,第一高分子聚合物绝缘层和第二电极层之间设有可振动的框架结构。第一高分子聚合物绝缘层和第二电极层之间可增设第二高分子聚合物绝缘层,从而使可振动的框架结构在第一高分子聚合物绝缘层和第二高分子聚合物绝缘层之间形成。第一高分子聚合物绝缘层和第二高分子聚合物绝缘层之间还可进一步增设居间电极层或居间薄膜层,各层之间均可形成可振动的框架结构。本实用新型的振动传感器具有优异...
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