技术编号：12899158
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及液晶产品制作技术领域，尤其涉及一种基板搬送装置。背景技术彩膜工厂的显影设备主要是利用显影液将基板表面不需要的光刻胶清洗除去以获得设计所需要的形状，为保证显影的均匀性，防止显影不良产生，基板在在显影过程中，需要保持表面平整无凹凸，流动速度均匀无波动。目前显影设备采用两头支撑、单侧驱动的装有滚轮的Shaft(搬送轴)搬送基板；基板搬送过程不可避免存在抖动，利用Shaft材质本身的高强度控制基板的弯曲以满足工艺要求。在彩膜10.5世代工场生产的玻璃基板尺寸为3370*2940，导致显影设...
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