一种多晶硅切割液回收再利用系统的制作方法与工艺技术资料下载

技术编号:12899986

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本实用新型涉及水处理领域,特别地涉及一种多晶硅切割液回收再利用系统。背景技术多晶硅切割液主要成分是硅粉、纯水和少量的金刚石粉末、切割冷却剂(PEG)。现阶段的多晶硅切割液的主要处理方法分为两种:第一种方法,多晶硅切割液先通过板框压滤系统将切割液中的硅粉、金刚粉及一些固体杂质压缩成块状回收,滤液直接排往污水站统一处理。第二种方法,多晶硅切割液先经过过滤,软化处理,然后经过微滤膜和超滤膜的过滤处理,得到的过滤液在经过蒸馏提纯,之后回收再利用。第一种方法存在的问题,排掉的污水中仍含有少量的硅粉和金刚粉...
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