技术编号:12904091
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于测量领域,更具体地,涉及一种三维曲面上微细图形轮廓信息的精密测量方法。背景技术在三维曲面上制作微细结构有着十分广泛的用途,如在曲面透镜上制作微光栅结构,可获得混合衍射-折射光学元件;在曲面上制作微透镜阵列,可获得人工复眼结构,增大可视范围;在三维曲面上制作螺旋天线,可实现全向通信导航等。而三维曲面上这些微细结构的相关轮廓,如图形线宽、凹槽深度或膜层厚度等的精密尺寸,对其性能有重大影响,需要精确控制与测量。此外,在曲面上制作这些微结构时,通常需要涂覆一层薄膜(如光刻胶等)作为掩膜层或牺牲...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。