技术编号：12904525
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及气体流量，更具体而言，涉及一种传感器。背景技术天然气以及大多数工业气体中难免会含有粉尘、水汽、重烃油类等物质，随着气体的流动，这些物质会接触到流量芯片表面及流量测量芯片四周的测量敏感区域，进而附着或沉积在其表面，对其造成污染。长期以来，人们只认识到流量芯片表面的污染会对流量的测量造成一定的影响，对流量芯片周围的测量敏感区域的污染对流量测量的影响关注较少。然而，流量测量芯片周围敏感区域污染物的附着和堆积，会影响流经测量芯片气体的热特性以及流体分布状态，从而影响流量芯片测量的准确度。实...
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