检查装置、检查系统和物品制造方法与流程技术资料下载

技术编号:12904803

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本发明涉及用于执行物体的检查的检查装置、检查系统以及物品制造方法。背景技术对于针对例如外观(appearance)而对物体(例如工件(work))的检查,已经越来越多地使用基于通过对用光照明的物体进行成像而获得的图像对物体进行检查的检查装置来代替视觉检查装置。这些检查装置包括用于针对颜色缺陷以及物体表面的高度不均匀性(凹和凸)而对物体进行检查的检查装置(日本专利No.5470708)。在日本专利No.5470708中公开的检查装置基于从物体规则反射的光(镜面反射光)检测物体的高度不均匀性并且基于...
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