水膜发生装置及显影机、清洗机的制作方法技术资料下载

技术编号:12905440

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本发明涉及一种显示面板技术,特别是一种水膜发生装置及显影机、清洗机。背景技术液晶面板行业发展越来越迅速,尤其在中小尺寸面板产业(如LCD(液晶显示器)/LTPS(低温多晶硅技术)),由于行业竞争愈加激烈,新技术、新工艺、新设备面临的挑战和创造显得尤为关键。现阶段湿法设备作为工艺制程中重要的环节,无论是能够满足生产中要求的特性值(CD)接近设计的水准,还是对产品品质(异物、Mura(斑马纹)等)的提升,是每个液晶面板工厂最为重视的。目前无论是清洗机还是显影机这类湿法设备,大体的设备结构都以定型,而...
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