技术编号：12905521
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。图案形成方法及电子元件的制造方法相关分案申请本专利申请是申请号为201510952485.9的名称为“化学增幅型抗蚀剂膜的图案化用有机系处理液及其制造方法、及其应用”的发明专利申请的分案申请，原申请的申请日是2014年03月24日。技术领域本发明涉及一种化学增幅型抗蚀剂膜的图案化用有机系处理液的制造方法、化学增幅型抗蚀剂膜的图案化用有机系处理液、图案形成方法、电子元件的制造方法及电子元件。更详细而言，本发明涉及一种适合于集成电路(IntegratedCircuit，IC)等的半导体制造步骤、液晶...
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