正型感光性树脂组合物和由其制造的绝缘膜的制作方法与工艺技术资料下载

技术编号:12905523

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本发明涉及获得密合性和均一性优异的绝缘膜的正型感光性树脂组合物和由其制造的绝缘膜。背景技术在薄膜晶体管(TFT,ThinFilmTransistor)型液晶显示装置等显示装置中,作为用于保护TFT电路及使其绝缘的保护膜,以往使用了硅的氮化物等的无机系保护膜,但存在介电常数值高、难以提高开口率的问题,为了克服这点,对介电常数低的有机绝缘膜的需求倾向增加。作为这样的有机绝缘膜,一般使用感光性树脂,该感光性树脂是利用光和电子束进行化学反应、从而对于特定溶剂的溶解度发生变化的高分子化合物,电路图案的微细...
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