技术编号:12910330
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明与探针装置有关,特别是指一种具有弹簧套筒式探针的探针装置。背景技术半导体芯片进行测试时,测试机通过一探针卡与待测物电性连接,并通过讯号传输及讯号分析获得待测物的测试结果。习用的探针卡通常由一电路板及一探针装置组成,或者更包含有一设于所述电路板及所述探针装置之间的空间转换器,所述探针装置设有多个对应待测物的电性接点而排列的探针,以通过这些探针同时点触这些电性接点。图1是一种习用的弹簧套筒式探针11的平面分解图,探针11包含有一针体12,以及一套设于针体12外的弹簧套筒13。图2是采用所述弹簧...
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