技术编号:12920251
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种镀膜机,尤其涉及一种热蒸发镀膜机。背景技术蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来并且沉降在基片表面,通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。目前,热蒸发镀膜机普遍使用的工件架系统从外形结构来说分为几大类,伞形(多片式、整体式)、行星式(平面行星式、伞形行星)、平板式(水平、斜面)等,该类工件架系统一般只适用于基片单面镀膜,用于基片两面镀膜的翻转系统结构稳定性差。实用新型内容为解决现有的热蒸发镀膜机中用于基片两面镀膜的翻转系统稳定性较差的...
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