技术编号:12924632
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及半导体技术领域,特别涉及一种晶圆盒测试装置、晶圆盒监测系统。背景技术随着晶圆制造中的临界尺寸越来越小,制程的复杂度越来越高,晶圆盒(POD)洁净度对于产品合格率的影响也越来越大,晶圆盒污染问题每年都会造成巨大的损失。即使增加监控和抽样环节,现在还没有完全有效的方法来监测和消除这种损失,通常的原因是无法准确及时分辨产品缺陷是来自晶圆盒污染还是机台污染,因此需要同时对晶圆盒和机台进行监测,造成机台长时间停止使用来等待监测和人工测试结果,从而降低了机台的使用率,影响生产效率。现有技术通常...
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