技术编号:12924638
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及太阳能电池制造领域,具体涉及一种用于饱和管式PECVD用石墨舟的陶瓷罩。背景技术太阳能硅片在生产加工过程中有一道工序叫做PECVD镀膜,这个工序需要用到石墨舟,将硅片放到石墨舟中,经过一定的条件产生化学反应,在硅片表面镀上一层膜,其作用是提高硅片的太阳能转化率。石墨舟作为太阳能电池片镀减反射膜的一种载体,其结构和大小直接影响硅片的转换效率和生产效率。现有石墨舟包括:石墨舟片、陶瓷环、陶瓷杆、石墨杆、石墨隔块等配件。其工作原理为:将未镀膜的硅片放在石墨舟片的卡点上,每个舟片上可放固定...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。