技术编号：12925647
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本公开涉及一种具有梳齿式电极的MEMS(微机电系统)声换能器。背景技术MEMS声换能器是已知的，包括：微机械结构，其至少部分地由半导体材料制成，并且被设计成将待检测的声压波转换为电量(例如，电容变化)；以及电子读取电路，所谓的ASIC(专用集成电路)，被设计成执行用于提供电输出信号(模拟或数字)的所述电量的适当处理(例如，放大和滤波)操作。MEMS声换能器例如广泛地用于诸如便携式计算机、平板电脑或智能电话之类的便携类型的电子设备，或者诸如手表或电子手镯之类的可穿戴类型的电子设备，其在空间占用和能...
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