等离子体处理装置制造方法技术资料下载

技术编号:1293045

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一种等离子体处理装置(10),包括收容电池(22)的本体部(11),气瓶(15),电源电路(21),以及包括一对电极(18、19)的等离子体生成器(20)。装置还包括可拆卸的施加器部(12),以及从生成器(20)延伸的用于将所生成的等离子体输送到出口并将形成在出口处的等离子体羽引导到处理区域上的延长导管(14),所述出口在导管(14)的远端处。环形电极(25)被设置在导管(14)的出口处,并经由延长电导体(26)连接到电源电路(21)。环形电极(25)起到...
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