技术编号:12937290
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及多晶硅生产技术领域,具体涉及一种多晶硅还原尾气回收方法,以及一种多晶硅还原尾气回收系统。背景技术多晶硅是太阳能光伏行业的基础材料。目前,多晶硅生产主要采用改良西门子法(即三氯氢硅还原法),指的是利用气相沉积法在还原炉中通过H2来还原SiHCl3从而制备多晶硅,具体反应方程式为:3SiHCl3+H2→2Si+5HCl+SiCl4由于还原炉中的温度等条件很难达到均一,导致实际的还原过程十分复杂,并伴随副反应发生,这样就使得还原尾气中的成分较为复杂,主要包括H2、HCl气体和气相氯硅烷等,其...
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