技术编号:12959234
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及蒸镀技术领域,具体地,涉及一种限制结构、限制装置及其调节方法和蒸镀系统。背景技术目前,制备形成有机电致发光器件OLED通常采用蒸镀的方法,如有机电致发光器件中的有机发光功能层和阴极通常采用蒸镀的方法形成。蒸镀所用的点状蒸镀源装置如图1所示,加热丝紧邻蒸镀源3,加热丝通过电流加热对蒸镀源3进行加热,从而使蒸镀源3内的蒸镀材料蒸发。蒸发出来的材料以一定的角度蒸发到上方玻璃基板6上并成膜。其中,限制板7设置于蒸镀源3与玻璃基板6之间,其作用是限制蒸镀源3中材料的蒸发范围。如图2所示,传统的限...
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