技术编号:12965743
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于薄膜晶体管的技术领域,尤其涉及一种薄膜晶体管的制造方法。背景技术在平板显示装置中,薄膜晶体管液晶显示器(ThinFilmTransistorLiquidCrystalDisplay,简称TFT-LCD)具有体积小、功耗低、制造成本相对较低和低辐射等特点。而为了在透明基板上形成TFT(ThinFilmTransistor,薄膜晶体管)阵列,在TFT阵列生产工艺中,需要使用一定数量的光掩膜板(PhotoMask)在基板上方反复进行成膜、曝光、刻蚀等光刻工艺,以形成TFT阵列的引线、电极、端...
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