技术编号：12986667
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及显示技术领域，特别涉及一种线性蒸发源系统及蒸镀装置。背景技术在半导体行业中，OLED被认为是下一代的平面显示器新兴应用技术，应用广泛，OLED的蒸镀一般为OLED线性蒸发源将有机材料添加到坩埚中，经坩埚加热将有机材料喷出蒸镀到玻璃基板上，在现有技术中，线性坩埚直接放在蒸镀装置内部支撑柱上，蒸镀环境为真空状态，坩埚内的材料的剩余量通过上次蒸镀的时间进行推算得出，但是通过估计蒸镀时间来判断材料的剩余量，会产生很大的误差。实用新型内容本实用新型提供了一种线性蒸发源系统及蒸镀装置，该线性蒸...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。