技术编号:12991119
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。陶瓷物品本发明是申请日为2013年2月20日、申请号为201380010899.9、名称为“具有陶瓷涂层的经热处理陶瓷基板及用于经涂布陶瓷的热处理方法”的中国专利申请的分案申请。技术领域本发明的具体实施例一般与用以热处理经涂布陶瓷物品的热处理工艺有关。背景技术在半导体工业中,通过可产生尺寸越发减少的结构的数种制造工艺来制造元件。某些制造工艺(例如等离子体蚀刻与等离子体清洁工艺)使基板暴露至高速等离子体流,以蚀刻或清洁基板。等离子体为高度腐蚀性,且会腐蚀暴露于等离子体的处理腔室以及其他表面。此腐蚀...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。