技术编号:13011952
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本发明涉及一种多层基板的加工方法,尤其是涉及一种对多层基板照射激光而进行
加工的加工方法以及加工装置。
背景技术
作为多层基板的一例的薄膜太阳电池是在玻璃基板上形成有作为下部电极层的Mo
层,并且在Mo层的上部形成有CIGS(CopperIndiumGalliumSelenide,铜铟镓硒)层等
半导体层。而且还在半导体层的上部形成有透明的上部电极层。
此外,作为另一例的触摸面板是在玻璃基板的上部形成有透明电极膜,且还在该透
明电极膜的上...
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