技术编号：13035561
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及传感器技术领域，尤其涉及一种MEMS传感器集成结构。背景技术随着移动设备、智能穿戴、智能家电产品的普及，环境传感器如陀螺仪、加速度计、温湿度传感器、压力传感器、麦克风等传感器应用越来越广泛。但随着越来越多不同功能的传感器的引入，使智能化产品微型化达到瓶颈。如图1、图2所示，目前传感器大部分为独立器件独立封装，以MEMS麦克风为例，包括接线板1、MEMS传感器2、ASIC3及外壳4。现有传感器如陀螺仪、加速度计、温湿度传感器、压力传感器、麦克风等传感器等均为不同行业厂家独立封装，主要...
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