技术编号：13039228
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及具有定子和被悬置成相对于定子、平行于第一方向运动的转子的微机电结构。背景技术微机电系统(MEMS)是小型化机电系统，其可以应用于快速准确地感测物理性质的非常小的变化。在许多MEMS装置中，感测是基于检测电容的变化来进行的。在平行板电容器中，电容与交叠面积成正比并且与两个电容器板之间的间隔成反比。可以使用平行板电容器来产生闭合间隙结构(closinggapstructure)或面积调制结构。图1A示出了图示平行板电容器的配置。在闭合间隙结构中，电容器板沿由x指示的方向朝向彼此移动和远离彼...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。