技术编号：13041529
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及感光性树脂组合物、由其形成的感光性树脂组合物膜、将本发明的感光性树脂组合物加热固化而形成的固化物、将本发明的感光性树脂组合物膜加热固化而形成的绝缘膜及具有本发明的绝缘膜作为层间绝缘膜的多层布线基板。更详细而言，涉及适用于形成在图案加工后仍作为绝缘材料使用的永久抗蚀剂的感光性树脂组合物、由其形成的感光性树脂组合物膜、将本发明的感光性树脂组合物加热固化而形成的固化物、将本发明的感光性树脂组合物膜加热固化而形成的绝缘膜及具有本发明的绝缘膜作为层间绝缘膜的多层布线基板。背景技术聚酰亚胺由于电特...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。