技术编号:13070818
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于测量非球面面形的干涉测量系统及方法,属于光电检测领域。背景技术非球面是对偏离球面的曲面的总称。在光学系统中使用非球面光学元件,不仅能增加光学设计的自由度,有利于像差校正、改善像质、提高光学系统性能,而且能够减少光学元件的数量和重量,简化仪器结构,大大减少系统的尺寸和重量,降低成本。但由于非球面检测的困难,使得非球面的加工精度一直不能够得到保证,研究高精度、简单实用的非球面检测技术目前还是光学检测领域的一大难题。当前,非球面一般主要采用轮廓测量法和干涉测量法进行检测。轮廓测量法大...
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