技术编号:13071044
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。MEMS是Micro-Electro-Mechanicalsystem的缩写,一般称为微机电系统,是通过微纳米加工技术在各种衬底上(最多的是硅片材料)加工出各种微型结构的技术,是在传统IC(IntegratedCircuit)制造技术上发展起来的一种技术,用于实现各种微米纳米量级的精细结构,来实现各种物理量检测、部件运动、微细管道等的功能。常见的采用MEMS技术的产品有加速度传感器、陀螺仪、压力传感器、喷墨打印头、投影仪用的DLP(DigitalLightProcessing)芯片等等。其中ME...
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