技术编号:13071045
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于模收缩和高灵敏度的具有锚定件(anchor)的压力传感器装置。背景技术微机电系统(MEMS)压力传感器是公知的。例如,Kurtz等人的美国专利号4,236,137公开一种半导体压力换能器。授予Johnson等人的美国专利号5,156,052也公开一种固态压力换能器。授予Bryzek等人的美国专利号6,006,607公开一种使用压敏电阻装置的压力传感器。美国专利号5,178,016和6,093,579也公开固态压力传感器。还参见由本申请的申请人所有并且还通过引用以其整体并入的题为“S...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。