技术编号:13074510
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种以使用喷墨方式的成膜法在基板上形成有机发光二极管的空穴注入层等有机层的基板处理系统、基板处理方法和空穴注入层形成装置。背景技术一直以来,有机发光二极管(OLED:OrganicLightEmittingDiode)作为有机EL(Electroluminescence)器件被大众熟知。因为使用有机发光二极管的有机EL显示器不仅厚度薄、重量轻且耗电低,并且具有在反应速度、视角和对比度方面优良的优点,所以其作为下一代平板显示器(FPD)在近年备受瞩目。有机发光二极管具有在基板上的阳极和阴...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。