紧凑型三维存储器的制作方法与工艺技术资料下载

技术编号:13083205

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技术领域本发明涉及集成电路存储器领域,更确切地说,涉及三维存储器(3D-M)。背景技术三维存储器(3D-M)是一种单体(monolithic)半导体存储器,它含有多个相互堆叠的存储元(也被称为存储器件)。3D-M包括三维只读存储器(3D-ROM)和三维随机读取存储器(3D-RAM)。3D-ROM可以进一步划分为三维掩膜编程只读存储器(3D-MPROM)和三维电编程只读存储器(3D-EPROM)。基于其编程机制,3D-M可以含有memristor、resistiverandom-accessmem...
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