技术编号:13091254
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。抑制前体流和衬底区外等离子体以抑制衬底处理系统寄生沉积本申请是申请号为201310256636.8、申请日为2013年6月25日、发明名称为“抑制前体流和衬底区外等离子体以抑制衬底处理系统寄生沉积”的申请的分案申请。相关申请的交叉引用本发明要求2012年6月25日递交的美国临时申请No.61/663,802的优先权。该美国申请的公开内容被全面地引入下文。技术领域本发明涉及一种衬底处理系统,并且更具体地涉及在衬底处理系统中的寄生沉积的抑制。背景技术此处对背景的描述是为了总体上呈现发明的内容。本申请...
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