技术编号:13096076
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于射频MEMS技术领域,具体涉及一种直板型实用化射频MEMS开关。背景技术射频MEMS开关具有插损小、功耗低、成本低、线性度高等卓越的优点,既可以用于可重构电路中,包括衰减器、移相器、滤波器和天线等,也可用于子系统中,包括信号路径选择、发射/接收(T/R)组件和波束成型天线阵列等。射频MEMS开关能够在很大程度上减小可重构系统的尺寸、重量以及成本,成为21世纪一项不可或缺的重要技术。目前国内射频MEMS开关的研究机构主要有中电集团十三所、中电集团五十五所、清华大学、北京大学、东南大学、中...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。