技术编号:13100635
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及到膜修复技术领域,尤其涉及光学监控系统多片式膜厚修正装置。背景技术常规的镀膜材料只能对应一片膜厚修正板,只能采用单光路光学监控形式,镀膜过程中难以做到实时修正,监控精度比较低;而且最多可以实现三种材料镀膜过程的膜厚修正,市场现有技术方案为三片式结构,每一种镀膜材料对应一片膜厚修正板,不能够满足现代社会对高性能膜厚修正装置的需求。本发明设计了光学监控系统多片式膜厚修正装置,该装置应用于多光路光学监控系统,可同时对基板多个半径进行监控,且在镀膜过程中可根据膜厚均匀性变化,使用两片不同形...
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