技术编号：13136084
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及紫外光应用技术领域，具体涉及一种面状曝光系统及曝光部件。背景技术在紫外光应用技术领域中，光刻微细加工在各行业中应用越来越广泛，为了提高生产效率，人们希望曝光光源有高的有效辐照强度和良好的均匀性，以及有大的有效光斑面积。但是，对于曝光光源而言，增加有效光斑面积与增加有效辐照强度是相互矛盾的。为了实现有效辐照强度和有效光斑面积的同时提高，目前的方式是采用多个光源拼接成光源条，在曝光面上形成一条带状的照射光斑，曝光过程中，通过移动光源条，使带状的照射光斑扫过待曝光面，进而实现较大面积的曝...
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