技术编号:13139871
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种太阳能电池的生产设备,尤其涉及一种硅片单面刻蚀装置。背景技术在光伏太阳能行业,太阳能电池的制造要经过制绒,扩散,刻蚀,镀膜,丝网印刷和烧结六大工序。其中,制绒和刻蚀属于化学刻蚀工艺。制绒的目的是要在硅片的正面形成有利于太阳光吸收的绒面;刻蚀的目的是要去掉硅片背面和侧面的PN结,但不能刻蚀硅片正面的PN结。因此,在太阳能电池的制造工艺中,尤其对于未来的高效太阳能电池,随着电池结构变得复杂,在一些工艺方案中需要对硅片的单面进行化学处理,但不能影响硅片的另外一面。常用的单面刻蚀方法采用正...
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